移相器微位移旋转误差的分析及测试:摘 要 以压电陶瓷( P Z T) 微位移器为主要研究对象，引入一种处理静态干涉图的新方法——虚
光栅移相叠栅条纹法， 设计 实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究， 对其引起
的波面旋转情况进行了定量的计算分析， 并给出测试结果 ．用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中
加有载频的干涉图时， 不需要使 用任何移相器件 ， 可以进行动 态位相 的检测 ， 整个移相过程 用计算
机进行控制， 避免 了引入额外的移相误差 ．
关键词 移相干涉术； 虚光栅叠栅条纹法} P Z T移相嚣
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