压控式毫米波MEMS移相器的可动薄膜.pdf

摘要 ： 介绍 了采用金、 铝硅合金等金属分别用作压控式 RF   ME MS开关阵列—— 移相器的可动薄膜， 实验表明金 的
延展性 比较好 ， 弹性 比铝硅合金稍差 ， 启动 电压 较高． 相 比较 含硅 4   的轻质量 铝硅 合金具有 较低 的启 动电压
( 5 V)， 用 该 弹 性 膜 制 备 的 2 1桥 压 控 式 开关 阵 列 —— 毫 米 波 移相 器 的 下 拉 电压 为 2 0 V 时 ， 相 移 量 可 达 到 3 7 0 。 ／  
3 ． 5 r am 以上 ( 3 5 GHz ) ， 并 能在 不 同的 控制 电压 下根 据 要求 改 变相 移量 ， 其传 输损 耗 为 5 5 ～ 9 0 。 ／ dB， 比金 可动 膜结 构
要 高．

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