微波MEMS移相器的特性分析与实现.pdf

摘要 ：从移相器 的基本原理出发 ，分别介绍 了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工
技术制备而成的微波 MEMS移相器的结构特点和工作原理 。在此基础上 ，设计制备了 CP W 分布式加载线
型 MEMS移相器 ，并进行测试和分析，结果表明 ME MS移相器较传统 的移相器有微型化 、低损耗 、低
成 本 、宽 带等 突 出优 点。

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