低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器.pdf

摘 要： 通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容， 外加电压驱动改变 电容值 ， 可实现级联式 ME M S移相
器． 本文讨论 了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ， 通过工艺参数优化制备 了高阻硅基上的 l ( a  
波段级联式 M E MS 移相器， 测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压 ， 8 V时即产生明显的相移量 ， 在 3 6 G l - l z处 1 5 V  
驱动电压时相移量为 l 1 8 O   2 5 V时为 2 8 6 ~ ． 对微结构弹性膜的机械振动 寿命测试表明， 1 3级级联 的 M E M S移相 器所有
弹性膜同步振动的寿命 为 3×1   次 ． 为器件 的实用化提供了重要保障 ．