X波段五位移相器的小功率开关HMIC的研制:有源相控阵雷达的快速发展，使T/R组建成了重要的关键 技 术 。T／ R 组 件 的 棱心 部 件移 相 器 的设 计 制 造 应 以 低 成 本 、 高可 靠 和 成 熟 工 艺为 原 则 ． 本 文 介绍了根 据 当 前 制造 工艺 设 备等 现状 设 计 的 x 波 段 PI N 二报 管 五 位 数 字 移 相 器 和 小 功 率 开关 HMI C，分析 了混合教渡组装工艺对移相器性能的影响 ，提
出 了控 科 方 法 ，从而 为 P l N 二 极 管 移相 器 HM I c 的 设 计 和 生产提 供 了借 鉴 ．
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