C波段单片矢量调制器:提要 报道 了 C波段单片矢量调制器的设计和制作 。采用双栅场效应晶体管 ( D GF E T) 放大
器作为控制器 。 偏置 电路在芯片内 采用集总薄膜 电容 、 电感、 电阻作为匹配元件 。 采用离子注入、
背面通孔接地、 空气桥跨接等先进工艺技术。 描述 了 D GF E T器件 S参数的提取步骤 。 两路放大器
和 9 0 相移网络制作在 3 ． 1 5mm×2 ． 5mmX 0 ． 1mm 的芯片上， 同相功分器制作在 1 ． 6 ( 1 ． 8 )mm ×2.9mm×0.1mm的芯片上。电路可获得在0~87°范围内的相移量，输出幅度可控。
看看学习下
有没有L波段的类似的芯片呢？
C波段单片矢量调制器.pdf
