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BST薄膜铁电移相器研究进展.pdf

 

BST薄膜铁电移相器研究进展:
摘要:钛酸锶钡 ( BS T)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗 t g 8和快的开关速度,在微波移相器的应
用中显示出巨大优势。介绍了改善 B S T薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,以及 B S T薄膜铁电移相器的
结构类型和研究进展。
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