BST-MEMS移相器开关:摘要：为了提高ME MS电容开关性能，介绍了移相器的一种新型结构一一分布式电容周期性加载结构．分析发现移相器的相移度和单元可变电容的变化率有关。目前ME MS可变电容单元采用的介质基本上是氮化硅。 B S T薄膜作为一种性质优良的介电材料，其介电常数远大于氮化硅。从ME MS移相器开关性能的几个关键指标出发，探讨在 ME MS移相器开关中，用B S T薄膜代替氮化硅介质的可能性。
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