双膜桥微波MEMS开关.pdf

摘要 ：介 绍 了一种双膜桥微 波 MEMS开 关， 给 出了开关的设计 与优化 方 法， 建 立 了开关的仿 真模
型 ， 使 用硅 表 面微机械 工艺制造 了双膜桥 开关样品 ， 其主要 结构 为硅衬底 上制作 CPW 金属 传输 线
电极和介 质层 ， 然后 制作具有微 电感 结构 的金属 膜桥 ， 提 高 了开关 隔 离度 。利 用 HFS S软件仿 真
的结果表 明 ， 该 开关在微 波低 频段 ( 3 ～6 GHz ) 有 着很好 的 隔 离性 能。研制 的开 关样 品在 片测试 的
电性 能 指 标 为 ： 插 损 小 于 0 ． 3 d B， 隔 离度 大 于 4 0 d B， 驱 动 电压 小 于 2 4 V。   ·  
关 键 词 ：微 机 电 系统 ；射 频 开 关 ； 高 隔 离度