DC—20GHz射频MEMS开关:DC一 2 0 GHz RF M EM S Swi t c h
Z H U J f a n ，L I N J i n — l i n g a n d L I N L i — q i a n g
( Na n f in g El e c t r o n i c Dc t ∞ n ㈨ ，Na n f in g 2 1 0 01 6，Ch i n a)
Ab s t r a c t ：The de s i gn a n d f a br i c a t i on of a RF MEMS swi t c h i s r ep or t e d f or t h e f i r s t t i me i n Ch i n a ．The swi t c hi ng
e [ e me t t t c ons i s t s o f a t hi n me t a R c I i ~ e l x t hr a i t e，whi c h h a s t h e me t a l — i s ol at or — me t a I c on t a c t a n d a c a pa ci t i v e sh un t
s wi t c h a s s i n gl e— p ol e s i n gl e t hr ow．W en a B e l e ct r os t at i c p ot e nt i a l i s ap pl i e d t o t h e membr ane a nd t he b ot t om e [ e c
t r ode，t he at t r ac t i v e e l e c t r o st at i c f or e e p ul l s t h e me t a l me mb r a ne d own on t o t h e b ot t om di e l e c t r i c．Th e s wi t c h c ha r
a c t e r i s t i c s，su c h as ns e r t i on l os s a i td[ s ot a t i o n，de pe n d on t he of f an d ol 7 t — c a p a ci t an c e．The t e s t r e s ul t s a r e a §l ot
l ows：t he pu l l down v ol t a gei s a b out 2 0 V ‘t h ei ns e r t i onl os si sl e s st ha n 0 ．69 dBf r om DC t o 20 GHzi nt h e up s t a t e；
t h e i s ol at i on i s l I l or e t ha n 1 3 dB f r om 1 4 t o 1 8 GHz a n d 1 6 dB f r om 1 8 t o 2 0 GHz i n t h e down— s t a t e．
Ke y wor d s{MEMS；RF s wi t c h‘wi de ba n d
EEACC：2 22 0‘25 70
CLC numb e r：TN4 05 Do c ume nt t ~ o de；A Ar t i c l e I Di 025 3 — 4 17 7( 2 00 1) 06 — 070 6 0 4
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我估计我没权限。。。。。。。。。。。。
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射频开关的设计与实现
看看 最近正在做开关；
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DC—20GHz射频MEMS开关.pdf
