15微系统与微纳米技术.pdf

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1 电热型二维转动MEMS 微反射镜研究 ⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯2
2 纳米技术在测量科学中的研究现状与发展趋势⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯7
3 图形转移工艺制作聚合物折射微透镜阵列⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 12
4 谐衍／折光学在可见光波段的应用研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 17
5 一种磁光开关的设计与分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 22
6 一种二元整形元件激光直写方法的实验研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 27
7 无孔SNOM 分辨率的衍射分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯33
8 纳米光栅结构长度标准研制⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 37
9 自聚焦透镜列阵调制传递函数的测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 41
10 近场光学方法测量大气折射率起伏⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯45
11 位置敏感元件在静电悬浮技术中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯49
12 液相型原子力显微镜在金属腐蚀研究中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯53
13 WYKO 表面轮廓仪在微加工器件测量中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 57
14 光镊技术在驱动三维微器件中的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯61
15 基于激光捕捉技术的纳米加工⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯65
16 三轴土样变形量全场光衍射测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯69
17 双波段红外混合光学系统设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯76
18 采集系统带宽对光阱刚度测量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯80

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